處理石英管的一種新方法推薦

發布時間:2015-01-21 16:28:00 點擊:
石英管在半導體器件生產中必不可少。為保持清潔,石英管內壁經常要進行化學處理。這裏介紹一種即科學又省事的方法。
由圖1可見,這種處理方法是將石英管的開口朝F,噴嘴噴出的高純水由石英加熱器加熱。工作時純水通過入口進入加熱器,接著使AB接通電源,水溫逐漸升高。噴嘴中噴射出的由涼變熱的純水噴至石英管底部後濺射管壁四周。順流附壁而下,對石英管進行細水長流的衝洗。經過一段時間以後,當用電導儀測得純水的入口處的電阻率和廢水出口處在不加熱時的電阻率大體相近時,處理即可停止。
圖1
此法具有如下優點:
(1)因為在清洗中,被清洗的雜質有的易溶於熱水而有的又易溶水涼水,采用由涼變熱,由熱變涼的細水長流的處理方法是合乎清洗原則的。同時加熱後的純水在未使用前盡量免除了空氣的汙染,保證了清洗質量。
(2)結構極為簡單,造價低廉,可自行製作,操作方便,減輕了勞動強度。
(3)易於實現自動化。
總之,此方法盡管原理簡單。卻具有推廣和實用價值。
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